เมื่อเจ้าจอมมารดาน้อยถึงแก่อนิจกรรม พระบาทสมเด็จพระจอมเกล้าเจ้าอยู่หัวทรงโปรดให้พระราชทานเพลิงศพที่สวนท้ายวังของพระเจ้าลูกยาเธอ กรมหมื่นวิษณุนาถนิภาธร เมื่อเสร็จงานศพเจ้าจอมมารดาน้อยแล้ว กรมหมื่นวิษณุนาถนิภาธรจึงทรงกะการสร้างวัดขึ้นบริเวณสวนท้ายวังที่เป็นที่ปลงศพเจ้าจอมมารดาน้อย วิธีการที่พระเจ้าบรมวงศ์เธอ กรมหมื่นวิษณุนาถนิภาธรทรงกะการสร้างวัดคือทรงโปรยเงินไปทั่วบริเวณพื้นที่ที่ทรงกำหนดว่าเป็นที่สร้างวัด แล้วโปรดให้บ่าวไพร่ในพระองค์พากันแผ้วถางต้นไม้ใบหญ้าเพื่อเก็บเอาเงินนั้น ซึ่งก็คือวิธีการจ่ายค่าแรงของพระองค์นั่นเอง การสร้างวัดยังไม่แล้วเสร็จ พระเจ้าลูกยาเธอ กรมหมื่นวิษณุนาถนิภาธรสิ้นพระชนม์ลงเมื่อปีจอ พ.ศ.2405 พระชันษาเพียง 38 ปี พระบาทสมเด็จพระจอมเกล้าเจ้าอยู่หัวทรงโปรดฯ ให้พระเจ้าลูกยาเธอ กรมหมื่นมเหศวรศิววิลาสทรงสร้างวัดต่อ แต่กรมหมื่นมเหศวรศิววิลาสก็สิ้นพระชนม์ลงไป อีกเมื่อปีเถาะ พ.ศ.2410 พระบาทสมเด็จพระจอมเกล้าเจ้าอยู่หัวจึงทรงรับเอาการสร้างวัดนั้นมาดำเนินการต่อ โดยทรงโปรดให้พระยาราชสงครามเป็นแม่กองก่อสร้างต่อจนแล้วเสร็จ จึงพระราชทานนามวัดว่า “ วัดตรีทศเทพ ” ซึ่งมีความหมายว่า “เทวดาสามนายสร้าง” แล้วโปรดให้แห่ พระครูจุลานุนายก (คง) พระครูปลัดซ้ายฐานานุกรมของสมเด็จพระมหาสมณเจ้าฯ กรมพระยาปวเรศวริยาลงกรณ์จากวัดบวรนิเวศวิหาร มาครองวัดตรีทศเทพเป็นเจ้าอาวาสองค์แรก ค . กรมหมื่นมเหศวรศิววิลาส และ กรมหมื่นวิษณุนาถนิภาธร พระเจ้าบรมวงศ์เธอ กรมหมื่นมเหศวรศิววิลาส เมื่อแรกประสูติมีพระยศเป็นหม่อมเจ้า พระนามว่า หม่อมเจ้านพวงศ์ (หรือ นภวงศ์ ) เมื่อพระบาทสมเด็จพระจอมเกล้าเจ้าอยู่หัวเสด็จขึ้นครองราชย์แล้ว โปรดให้เลื่อนพระยศเป็นพระองค์เจ้า มีพระนามตามพระสุพรรณบัฏว่า “ พระองค์เจ้านพวงศ์ วรองค์เอกอรรคมหามกุฎ ปรมุตมราโชรส ” และได้รับสถาปนาเป็นพระองค์เจ้าต่างกรม มีพระนามว่า “ พระเจ้าลูกยาเธอ กรมหมื่นมเหศวรศิววิลาส ” ในรัชสมัยพระบาทสมเด็จพระนั่งเกล้าเจ้าอยู่หัว กรมหมื่นมเหศวรศิววิลาสมิได้รับราชการใดๆ แต่มาถึงรัชสมัยพระบาทสมเด็จพระจอมเกล้าเจ้าอยู่หัว พระบรมชนกนาถ ได้ทรงเป็น ผู้กำกับกองทหารล้อมวัง พระเจ้าบรมวงศ์เธอ กรมหมื่นวิษณุนาถนิภาธร เมื่อแรกประสูติมีพระยศเป็น หม่อมเจ้าสุประดิษฐ์ เมื่อพระบาทสมเด็จพระจอมเกล้าเจ้าอยู่หัวเสด็จครองราชย์แล้ว ทรงโปรดให้เลื่อนพระยศเป็น “ พระองค์เจ้าสุประดิษฐ์ วรฤทธิราชมหามกุฎ บุรุษยรัตนราชวโรรส” และเป็นพระองค์เจ้าต่างกรม ทรงพระนามว่า พระเจ้าลูกยาเธอ กรมหมื่นวิษณุนาถนิภาธร ซึ่งได้ทรง กำกับราชการกรมพระคลังสมบัติ และได้เสด็จไปศึกษาดูงานการปกครอง และการพัฒนาบ้านเมืองยังสิงคโปร์ โดยพระบาทสมเด็จพระจอมเกล้าเจ้าอยู่หัวทรงพระกรุณา ให้เสด็จไปดูงานพร้อม สมเด็จเจ้าพระยาบรมมหาศรีสุริยวงศ์ (ช่วง บุนนาค) ซึ่งในขณะนั้นท่านมีบรรดาศักดิ์เป็นเจ้าพระยา